نقشه ی سایت
دوشنبه  28  مرداد  1398

اچینگ خشگ (DRIE)

توضيحات: دستگاه  زدايش عميق یوني شيميايي

معرفی دستگاه: در اين دستگاه زدايش عميق به دو صورت همسانگرد و ناهمسانگرد برای لايه های Si ، SiO2 و Si3N4  مدنظر مي باشد. بخش هاي اصلي اين دستگاه شامل محفظه خلا جهت قرارگيري نمونه ها ، پمپ هاي خلا، MFC هاي کنترل کننده فلوي گازهاي فرآيند و منبع RF جهت ايجاد پلاسما مي باشد. اين دستگاه به صورت اتوماتيک بوده و تمامي بخش ها به صورت نرم افزاري قابل کنترل مي باشد. در اين دستگاه زدايش به صورت خشک صورت مي پذيرد. به اينصورت که ترکيبي از گازهاي SF6 و H2 و O2 با فلوي معين در زمان معين به محفظه وارد مي شود و با اعمال توان RF تعيين شده و تشکيل فاز پلاسما زدايش به صورت شيميايي فيزيکي صورت مي پذيرد. فرآيندهاي اين دستگاه مي تواند به صورت سيکل هاي متنوع با تکرار مورد نياز برنامه ريزي شود.

 

 

قیمت به ریال

مقیاس تعرفه

شرح خدمات قابل ارایه

1.000.000

 

هرساعت

اچينگ خشک Si-SiO2-Si3N4

تعداد بازدید کل : 12413743
تعداد بازدید امروز: 4005
بازدید دیروز : 5511
تعداد افراد آنلاین: 64