آزمایشگاه ميكرو و نانو الكترونيك
1395-05-10

- لایه نشانی حرارتی و لایه نشانی الكترون بيم
- لایه نشانی اسپاترینگ (DC&RF)
- مورفولژی سطح در ابعاد نانو متر(AFM)
- عكسبرداری نمونه با دقت 50 نانو متر (SEM)
- اليپسومتری
- اچينگ خشگ (DRIE)
- تهيه ماسك با دقت 3ميكرون (HRP)
- فتو ليتو گرافی و اچينگ
- رشد لایه هایSi-SiO2-Si3N4 (HPCVD)
- وایر باندینگ
- انيل کردن نمونه ها
- برش ویفر سيليكنی و شيشه
- اندازه گيری پارامترهای نيمه هادی- رسم منحنی IV
- رشد لایه Sio2 و نفوذ ناخالصی درون ویفر در کوره های اکسيداسيون و نفوذ